【零廢供應鏈點將4-3】長春石化「5塔過濾術」 讓異丙醇重回半導體先進製程

異丙醇（IPA）是用於半導體晶圓清洗與濕式蝕刻製程之乾燥用溶劑。使用過的「廢異丙醇」溫度約降低5%~15%，傳統廢液處理程序是經過2道蒸餾塔處理，分別是除水蒸餾和破共沸的高純度蒸餾，這些處理完的再生異丙醇純度達到99%，可銷售至塗料業等產業使用。

但在這座異丙醇回收廠，長春石化藉由軟體模擬和模廠優化，進行截然不同的異丙醇回收流程。

零廢中心導覽員說，他們把2支塔增加到5支，包含第1支塔進行「前處理」，去除不純物質，藉由熱回收的蒸氣，蒸餾去除部份水份與不純物後產生共沸，再運用2支電子級精餾塔，進行純化和去雜質動作，讓99%純度的再生異丙醇到達6N（99.9999%）等級，重新回供半導體製程使用。


這座廠可回收台積電晶圓十五廠的廢異丙醇，每月收受量為2,300公噸。每月可產出再生異丙醇量為300公噸。而且，此廠所使用的能源是來自廢熱回收所產生的蒸氣，同時可減少能源使用。


台積電台中廠務處副處長丁瑞華表示，先進製程對異丙醇（IPA）需求非常高，高於一般的成熟製程；所以異丙醇是台積電非常頭痛的問題之一。有了這套回收系統後，異丙醇可以回到生產線，解決部分產線問題。

長春石化異丙醇回收廠廠長張鐸耀也表示，IPA 對台積電來說是很重要的化學品，長春跟隨台積電一起見證台灣奇蹟，甚至也跟著台積電一起去美國亞歷桑納設廠。


張鐸耀強調，再生異丙醇要達到6N（99.9999%）電子級，才能提供給半導體5奈米以下先進製程使用。這座異丙醇回收廠面積約為七千平方公尺，目前廠區人力精簡，採24小時值班制。