氧化矽汙泥回收廠由成信實業負責營運,將研磨廢水以混凝處理沉降後產生氧化矽污泥。戴嘉芬攝
由成信實業負責生產營運的「氧化矽污泥回收廠」是零廢製造中心的重要一環。它接收來自台積電中科、南科廠區的氧化矽汙泥,之後還會收受來自其他廠區的汙泥。
這些污泥以乾燥、焙燒、浸漬程序區分固態物與液態物,固態物經過再乾燥與表面改質後生成礦石粉,可用於塑膠、陶瓷等工業應用;而液態物經由萃取成為硫酸銅,可做為工業常見原料。
氧化矽污泥回收廠處理流程使用於半導體研磨製程之研磨液,所產生的研磨廢水經混凝處理沉降後產生「氧化矽污泥」。這些氧化矽汙泥含有大量的廢水及各種化學物,需要進一步處理。
傳統回收氧化性汙泥的辦法,是提煉後做為建築材料,多半進入水泥廠。這座氧化矽污泥回收廠則採用創新的處理程序,轉變為能被更多人利用的產物。
此處的氧化矽污泥以乾燥、焙燒、浸漬程序區分固相物與液相物,分離後根據不同需求,固態物經過再乾燥與表面改質後生成礦石粉,可用於塑膠、陶瓷等工業應用;而液態產品經由萃取成為硫酸銅,可做為工業常見原料。
氧化矽污泥處理後,固態物可生成礦石粉,用於塑膠、陶瓷等工業;而液態物可萃取成為硫酸銅,則為工業常見原料。戴嘉芬攝
成信實業藉由回收過程,製作出各種成品如漆料、靜電鞋、垃圾袋、拖鞋等等。戴嘉芬攝
除了台積電中科廠區之外,這座廠同時也收受來自南科廠區的CMP污泥(化學機械研磨混合污泥),未來也計畫收受來自其他廠區的汙泥。氧化矽污泥回收廠每月收受量為800公噸,預計可擴充到1000公噸,可產出填料量為每月480公噸。
台積電台中廠務處副處長丁瑞華表示,目前這座回收廠可接收北中南廠區的汙泥,之後台積電在高雄、竹科、台中都有新廠,屆時公司會再重新分配回收資源,將在南部興建一座新的氧化矽污泥回收廠,以供南部廠區利用。