【神山減碳2-2】台積電打造「綠色晶圓廠」　EUV機台成功降低24%耗電量！

為了加速RE100執行進程，護國神山台積電去年宣布，將於2040年全公司生產營運據點再生能源使用比例達成100%，提前10年達成RE100目標。預計2030年再生能源使用比例由40%提升為60%，持續朝2050年淨零排放目標邁進。台積電表示，海外據點目前已全面使用再生能源，將接續展開因地制宜的環境保育行動。

台積電積極投入淨零排放行動，廠房導入節能設計，打造全方位綠色晶圓廠。先進製程透過大數據、優化極紫外光EUV機台成功降低24%耗電量，預計2030年EUV能源使用效率將提升1.5倍。海外營運據點持續達成範疇一與範疇二淨零排放；該公司同步擴增陸域風場供電，提出822項節能方案，共計減8億度用電量。

根據工研院產科國際所推估，到了2030年，台積電每用1度電生產，可為全球其他產業與民生用電減省4.28度電；進一步分析各平台技術對節能貢獻度，結果發現HPC高效能運算貢獻最大，約占57%，其次為智慧手機、物聯網及車用電子，分別占27%、15%及1%。


負責台南3奈米的18B資深晶圓廠廠長黃遠國曾於技術論壇中，分享台積電「綠色製造」經驗。他提到，台積電做為一個負責任的公民，承諾在2050年實踐淨零排放，從改善能源效率與減少溫室氣體直接排放來進行，持續推動低碳供應鏈與實施碳交易。

2030年目標：將廢棄物減量95%！

他進一步指出，台積電在2023年溫室氣體直接排放量，跟2015年相比，相對減少了21%。去年開始推動「碳捕捉」行動方案，為了加速2050淨零目標，台積電同時積極投入再生能源，希望在2040年達成RE100百分百使用再生能源的目標。

此外，在廢棄物回收方面，目標是透過源頭減量，實施資源循環技術進行減碳。黃遠國說，透過台積電自行開發且已投入運轉的「零廢製造中心」，把廢棄物質回收再利用，避免對環境造成進一步汙染；海外廠商的零廢專案也同步規劃中；預計2030年前將廢棄物減量95%。

2030年目標：再生水取代60%自來水用水量

在水資源方面，台積電透過再生水廠將製程中排出的水再利用，一滴水使用3.5次！2022年啟用再生水廠至今，供水量已提升2倍，朝2030年取代60%自來水用水量的目標邁進。


受到全球景氣循環影響，2023年台積電產能利用率不如預期，以致於單位產品用水量上升25.2%，未達年度目標（降低2.7%），該公司表示，將持續落實製程節水與再生水使用。不過，台南安平再生水廠於2023年3月20日啟用後，全年再生水替代率已增至12%。目前南科廠區再生水使用量由每日6,500立方公尺提升至近5萬立方公尺。

2024年目標同樣設為用水量降低2.7%，再生水替代率目標則提升至14%。希望到了2030年，單位用水量能降至30%以下，再生水替代率能達到60%以上。

JASM熊本廠推動「涵養水」工程

台積電並於去年在日本熊本JASM廠區推動涵養水工程，於廠區北方建置涵養池，搭配環廠雨水收集系統讓雨水入滲至地下水層涵養，同年已復育地下水約 200萬立方公尺；同時，配合農田冬季休耕，與民間社團合作於熊本市白川中部流域將河川水引入閒置農田進行涵養，持續入滲回補至地下水層，透過復育環境中的水量已大於取用的水量，促進永續循環與發展。