台積電「南科再生水廠」廢水處理大解密！ 比自來水乾淨但不能飲用

台積電本周宣布3奈米正式進入量產，主要負責3奈米製程的晶圓十八廠，自量產開始即使用20%以上再生能源，並導入「台積電南科工業再生水廠」的水資源，以達成該公司2030年前再生水替代率60%以上目標。再生水被視為新興水源，是全球永續發展重要的一環，台積電將再生水用於製程，為全球創舉，而究竟整座再生水廠是如何處理工廠廢水？帶您一起來解密！

3座再生水廠 各司其職

台積電南科再生水廠是全世界首座半導體工業再生水廠，為使再生水潔淨度達到晶圓製程需求，相較一般民生用水處理，南科再生水廠處理廢水的複雜度，工序要比一般高出四倍以上。

台積電負責晶圓廠新建、規劃的廠務副總莊子壽表示，南科廠區所有排出的廢水都會進行處理。這其中最重要的意涵是整個台南科學園區的廢水都沒有排到河川，不會對環境造成汙染。

台積電南科再生水廠除了專門處理工業用廢水，台南另外有兩座再生水廠即安平、永康，負責處理民生汙水，這兩座再生水廠的管線也延伸至台南科學園區，再進入台積電再生水廠進一步處理；目前已建置完成的永康再生水廠，每天可供應8000噸水量；而安平水廠還在興建中，預估明年完工，每日將可供應3萬噸水量。

工業廢水變純水 處理尿素最困難

到底南科工業區排放的廢水是如何處理的？莊子壽說，這些廢水會先經由處理槽變成較為乾淨的水，類似自來水。接著，南科管理局會進行尿素檢測。檢測完成後，這些水從專屬管線匯流至台積電再生水廠，然後透過水廠裡的監測池和總配水池，進行水質複驗和輸送；最後，再送回台積電各廠使用。

莊子壽擁有20年晶圓廠規劃興建的經驗，他說：「工廠廢水的處理難度遠高於民生汙水，目前處理工業再生水最困難的部分就是尿素過高！而半導體製程又非常懼怕尿素，因此在試車的過程中，由專門處理純水的工程師來處理這個最艱難的部分。」

台積電南科再生水廠自7月1日進行試車後，期間曾遇到BioNet載體上浮阻塞、UF自清效果不佳阻塞、反應池控藥不穩，添加過量餘氯以及Polymer尿素汙染等各種狀況；一直到10月中旬之後，尿素（Urea）規格已低於5ppb，且完成25項水質穩定達標，達成全球首創將工業再生水導入半導體先進製程的先例。

再生水管線 遍布南科地下

莊子壽說，這座再生水廠共花了八年時間開發，歷經862天環管工程施工，管線總長度達9公里。現在每天能提供廠區5000噸用水，預計明年4月能達到2萬噸，供給台積電南科20個廠區使用。

台積電表示，南科廠區去年缺水最嚴重時減供15%用水，明年第2季再生水廠可望供應南科廠20%的用水量，在缺水的時候相當重要，可以不要跟民生搶水。

記者好奇，跟自來水相比，再生水的品質究竟如何？莊副總說，再生水的品質比自來水還好，但是它沒有礦物質，對人體不健康無法飲用。

根據《再生水資源發展條例》第7條第1項規定：「再生水不得供作直接食用及食品業、藥品業之用水。」但它經過精細的過濾技術，水中雜質、尿素皆被濾除了，使得再生水比自來水還要乾淨，因此可讓工廠回收使用。